合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 化学增幅光刻胶等效扩散模型的建立方法

化学增幅光刻胶等效扩散模型的建立方法

1136   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:55:31
本发明公开了一种化学增幅光刻胶等效扩散模型的建立方法,可同时考虑掩膜板图形的图形分布密度对于光刻胶扩散长度的影响,从而可以建立更为准确的光刻胶等效扩散模型,提高对光刻工艺各项参数的模拟结果的精确度。包括以下步骤:(1)测量光刻胶对一组不同类型的测试图形在不同图形分布密度时的光刻工艺参数;(2)通过空间像模拟解算出光刻胶光酸对所述不同类型的测试图形在不同图形分布密度时的等效扩散长度值;(3)建立光刻胶光酸的等效扩散长度对各种类型的测试图形在不同图形分布密度时的函数或者表格;(4)根据待模拟图形的图形类型及图形分布密度,选择该待模拟图形相应的最佳等效扩散长度值。
声明:
“化学增幅光刻胶等效扩散模型的建立方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 小知识 | 金属钼了解一下 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50%
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记