合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 化学机械研磨去除率计算的方法及设备

化学机械研磨去除率计算的方法及设备

1090   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:22
提出了一种化学机械研磨去除率计算的方法,包括:确定研磨去除率计算公式MRR=kPV;分析影响研磨去除率的因素,得到影响研磨去除率所述因素的函数方程;将所述因素的函数方程代入MRR=kPV中,得到研磨去除率的具体计算公式,根据所述具体计算公式计算研磨去除率MRR。此外,还提出了一种化学机械研磨去除率计算的设备。本发明提出的上述方案,通过分析影响研磨去除率的因素,综合考虑晶圆、粒子、研磨垫及研磨液四体相互作用关系,深刻揭示多体间作用规律,能更加客观真实地描述化学机械研磨的工艺实际,对CMP的机理分析,版图设计,以及大生产线工艺研发具有积极指导作用。
声明:
“化学机械研磨去除率计算的方法及设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 金属百科 | 锑的历史与发展 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 2025年锂电池行业十大变革性技术
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记