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化学机械研磨设备

840   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:58:58
一种化学机械研磨设备,所述化学机械研磨设备包括:研磨盘,用于固定研磨垫;研磨头,位于所述研磨盘上方,用于固定晶圆;传感器,固定于所述研磨头外壁上,且所述传感器的检测窗口朝向所述研磨盘;喷气单元,固定设置于所述研磨盘一侧,用于向所述传感器喷气。所述化学机械研磨设备的滑片侦测效果提高。
声明:
“化学机械研磨设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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