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等离子体化学气相沉积设备进气机构

792   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:59:00
本实用新型适用于化学气相沉积技术领域,提供了一种等离子体化学气相沉积设备进气机构,包括筒体、端盖、平滑段和固定盘一,所述平滑段固定安装于端盖的侧面,平滑段侧面安装有过渡段,其与筒体同轴线布置;所述固定盘一布置于筒体的内壁,固定盘一与筒体内侧安装的固定盘二平行布置,固定盘一和固定盘二均与过渡段之间形成流道,且固定盘二上流道的直径大于固定盘一上流道的直径,以便于气体流动;本进气结构在使用时,能对进入设备的气体温度进行检测,并将气体加热到所需的温度,还能从侧面将气体均匀的向外排出,以便于化学气相沉积设备使用,从而保证其以最佳的状态运行。
声明:
“等离子体化学气相沉积设备进气机构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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