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光检波微纳真空三极管

781   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:23:23
本实用新型实施例公开了一种光检波微纳真空三极管,包括:微型热阳极板、微型热阴极板、栅极材料层和导电薄膜,所述微型热阴极板和微型热阳极板之间刻蚀有导电薄膜,所述导电薄膜上部通过化学气相沉积有真空沟道,所述真空沟道的上部覆盖有氧化物混合材料,所述微型热阴极板和微型热阳极板均包含一对由Au/Cr组成的金属电极,所述金属电极之间电性连接有石墨烯材料板,所述石墨烯材料板的下部刻蚀有二氧化硅材料层,采用纳米缝隙真空沟道实现电子的传输,兼具了真空管和半导体晶体管的优点,栅极具有调制作用,优化了器件特性,具有工作电压低、响应时间短、发射电流可大幅度调制、可控性好等特点。
声明:
“光检波微纳真空三极管” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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