合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> TSV电镀铜填充效果的测试方法

TSV电镀铜填充效果的测试方法

1168   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:24:15
一种TSV电镀填充效果的测试方法属于材料制备与连接领域。包括步骤1:将化学机械抛光后的TSV晶圆样品切割取样,并将取自晶圆上不同区域的TSV样品置于坩埚中;步骤2:随后将坩埚放入管式炉中,并在管式炉中通入氩气作为保护气体;以10℃/min的升温速度将管式炉中的温度升至后保温;保温过程完成后,关闭管式炉加热装置,保持样品仍然在氩气保护下放置于管式炉的石英管中。打开管式炉保温炉盖,将石英管以及其中的TSV样品进行空气冷却。步骤3:当管式炉中的温度降低至室温后,解除石英管的密封状态,将石英管中的样品取出,在金相显微镜下观察。本发明分析周期短,有效方便、费用低,可以节约时间和成本。
声明:
“TSV电镀铜填充效果的测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 金属材料在芯片工艺上的作用 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 有色金属:六种战争金属性能详解 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破!
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记