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TSV电镀铜填充效果的测试方法

1166   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:24:15
一种TSV电镀填充效果的测试方法属于材料制备与连接领域。包括步骤1:将化学机械抛光后的TSV晶圆样品切割取样,并将取自晶圆上不同区域的TSV样品置于坩埚中;步骤2:随后将坩埚放入管式炉中,并在管式炉中通入氩气作为保护气体;以10℃/min的升温速度将管式炉中的温度升至后保温;保温过程完成后,关闭管式炉加热装置,保持样品仍然在氩气保护下放置于管式炉的石英管中。打开管式炉保温炉盖,将石英管以及其中的TSV样品进行空气冷却。步骤3:当管式炉中的温度降低至室温后,解除石英管的密封状态,将石英管中的样品取出,在金相显微镜下观察。本发明分析周期短,有效方便、费用低,可以节约时间和成本。
声明:
“TSV电镀铜填充效果的测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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