合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 在线测试半导体器件衬底

在线测试半导体器件衬底

1014   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:25:59
本发明提供了在线测试半导体器件衬底的方法,包括:在半导体器件衬底上形成低K介电材料,在低K介电材料表面形成顶部介质阻挡层,再在低K介电材料和顶部介质阻挡层中刻蚀出沟槽,然后在沟槽中填充金属;进行第一次化学机械研磨工艺,使填充的金属顶部与沟槽顶部齐平,从而得到低K介电材料表面覆盖有介质阻挡层的互连层结构,作为待测半导体器件衬底;对低K介电材料表面覆盖有介质阻挡层的待测半导体器件衬底执行在线测试;在线测试中填充的金属顶部表面生成氧化物;进行第二次化学机械研磨工艺,去除填充的金属表面生成的氧化物和低K介质材料表面的顶部介质阻挡层。本发明确保在线测试后得到没有氧化膜的互连结构和无损伤的低K介电材料。
声明:
“在线测试半导体器件衬底” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 2025年锂电池行业十大变革性技术 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 钨矿——工业之基,战争金属之王 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.172636s