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ZnMgGaO紫外探测器及其制备方法

1089   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:27:46
本发明提供一种ZnMgGaO紫外探测器及其制备方法,其中的方法包括:S1、以有机化合物作为锌源,以有机镁化合物作为镁源,有机镓化合物作为镓源,以高纯氧气为氧源,利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底的表面生长ZnMgGaO薄膜;S2、在ZnMgGaO薄膜上使用负胶光刻形成叉指电极掩膜,溅射金属后将叉指电极掩膜去除,形成叉指电极;S3、在叉指电极上按压In粒,得到MSM结构的ZnMgGaO紫外探测器。与现有技术相比,本发明使用金属有机化合物化学气相沉积法制备ZnMgGaO薄膜,通过增加氧气流量、增加氧分压、减少氧缺陷的方式,使得制备的ZnMgGaO薄膜具有结晶质量高、不出现分相、吸收截止边陡峭等特点,进而使包含ZnMgGaO薄膜的紫外探测器具有较低的暗电流和较快的光响应速度。
声明:
“ZnMgGaO紫外探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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