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多晶金刚石膜的制备方法和辐射探测器

995   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:27:49
本发明公开了一种多晶金刚石膜的制备方法和辐射探测器,其中的方法包括如下步骤:将其上具有金刚石晶种的衬底置于化学气相沉积反应室中;设置化学气相沉积反应室中的生长气体为H2、CH4和N2的混合气体;经过第一预设时间后,关闭CH4和N2,并通入O2,将H2和O2的混合气体作为刻蚀气体;经过第二预设时间后,关闭O2,并复通入CH4和N2,将H2、CH4和N2的混合气体作为生长气体;重复上述步骤若干次,直至若干个第一预设时间之和达到预设生长时间后结束,得到多晶金刚石膜。通过本发明中的方法,能够减少最终制备得到的多晶金刚石薄膜内的杂质,提高最终制备得到的多晶金刚石膜的质量,且该方法的实施难度较低。
声明:
“多晶金刚石膜的制备方法和辐射探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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