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测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品

1131   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:28:48
本实用新型提供了一种测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品,包括衬底、第一氧化层、多晶硅结构、第二氧化层和氮化钽层,所述第一氧化层设在所述衬底上,所述多晶硅结构设在所述第一氧化层与所述第二氧化层之间,所述氮化钽层设在所述第二氧化层上,本实用新型通过多晶硅结构与氮化钽层的引入,尤其是氮化钽的引入,使得其有效地避免了“电荷效应”对校准用样品的影响,减少了碳氢化合物污染的淀积,增加了测量的准确性,提高了测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品的使用寿命。与此同时,通过第二氧化层的引入,有效避免了氮化钽与多晶硅的化学反应。
声明:
“测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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