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ZnMgO紫外探测器及其制备方法

918   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:28:48
本发明提供一种ZnMgO紫外探测器及其制备方法,其中的方法包括:S1、以有机化合物作为锌源,以有机镁化合物作为镁源,以高纯氧气为氧源,利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底的表面生长ZnMgO薄膜;S2、在ZnMgO薄膜上使用负胶光刻形成叉指电极掩膜,在叉指电极掩膜溅射金属后将叉指电极掩膜去除,形成叉指电极;S3、在叉指电极上按压In粒,得到MSM结构的ZnMgO紫外探测器。与现有技术相比,本发明通过增加氧气流量、增加氧分压、减少氧缺陷的方式,使得制备的ZnMgO薄膜具有结晶质量高、不出现分相、吸收截止边陡峭等特点,混相结构的ZnMgO薄膜2能够同时满足高响应度和低暗电流,从而使ZnMgO紫外光电探测器具有更低的暗电流和更高的光响应速度。
声明:
“ZnMgO紫外探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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