合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 具有石墨烯透明电极的碳化硅雪崩光电探测器

具有石墨烯透明电极的碳化硅雪崩光电探测器

1058   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:29:08
一种具有石墨烯透明电极的碳化硅雪崩光电探测器,涉及半导体光电探测器。设有衬底,在衬底上依次设有同质的第一N型外延缓冲层、N‑型外延吸收层、第二N型外延倍增层和P+型欧姆接触层;在P+型欧姆接触层表面通过电热分解法生长的多层石墨烯透明电极层,采用光刻掩膜技术和ICP刻蚀工艺刻蚀一高度从石墨烯层表面到第一N型外延缓冲层表面,使得P+型欧姆接触层、第二N型外延倍增层和N‑型外延吸收层为圆台,通过等离子体增强化学气相沉积法生长一致密的SiOx/Si3N4保护钝化层。在N+型衬底的背面溅射N型欧姆接触电极,并在SiOx/Si3N4保护钝化层上通过光刻工艺刻蚀出焊盘窗口并制备石墨烯透明电极层的焊盘。
声明:
“具有石墨烯透明电极的碳化硅雪崩光电探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 钨矿——工业之基,战争金属之王 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 金属材料在芯片工艺上的作用 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.172169s