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晶圆金属污染的评估方法

1066   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:29:13
本发明提供了一种晶圆金属污染的评估方法,包括步骤:对晶圆进行多次化学处理;对所述晶圆依次进行表面检查、扫描电镜‑X射线能谱分析以及缺陷分类;通过对晶圆进行多次化学处理,与现有评估方法相比,能够在后续对晶圆的处理中检测到晶圆内部更深位置处的缺陷,以增加金属污染检测的精度,提高晶圆金属污染的评估的准确性;并且本发明进行两次表面检查、两次扫描电镜‑X射线能谱分析以及两次缺陷分类,并将两次的结果进行综合分析,从而能够更加精确得获得金属污染的信息,准确的对晶圆金属污染进行评估。
声明:
“晶圆金属污染的评估方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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