合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 改善纳米镀膜设备等离子体均匀性装置

改善纳米镀膜设备等离子体均匀性装置

1106   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:45:47
本实用新型公开了一种改善纳米镀膜设备等离子体均匀性装置,属于真空镀膜技术领域。该装置中,高频电源与反应腔室连接,电极与高频电源连接并安装于反应腔室内部,化学单体管路和工艺气体管路与反应腔室连通;化学单体蒸汽和工艺气体可通过管路通入反应腔室,通过高频电源电极放电产生等离子体进行化学气相沉积,形成聚合物涂层。本实用新型通过电极边缘采用边缘卷圆或者在电极的边缘拼接、焊接、铆接、螺纹装配圆管、元棒或者定制型材的方法,可消除电极边缘电场较强造成的等离子体密度较大的现象;同时采用本实用新型设计的电极经等离子体探针检测,放电电场均匀度大幅改善,同批次工件镀膜厚度更加均匀,镀膜质量显著提高。
声明:
“改善纳米镀膜设备等离子体均匀性装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
小知识 | 金属钼了解一下 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 钨矿——工业之基,战争金属之王 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 金属百科 | 锑的历史与发展 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一)
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记