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MEMS红外光源及其制备方法

1326   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:55:14
本发明公开了一种MEMS红外光源及其制备方法,通过MEMS加工技术,制备出适合气体检测的MEMS红外光源,包括如下步骤:1)在双面抛光的单晶硅衬底上,利用干法氧化的方法,在两面形成致密的氧化硅薄膜,随后以化学气相沉积的方式在正面生长氮化硅薄膜;2)在氮化硅薄膜上,以磁控溅射的方式生长电极连接层Ti和电极层Pt;3)以MEMS加工工艺中的光刻、刻蚀等方法,图形化出加热电极;4)以反应离子刻蚀的方式,去除多余的氧化硅和氮化硅;5)以干法刻蚀和湿法刻蚀相结合的方式,形成悬空结构。本发明制备的MEMS红外光源工艺简单,成本低,易于批量化生产,适用于便携式、微型化的气敏检测系统。
声明:
“MEMS红外光源及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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