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单晶硅制备中排放氩气的回收方法与装置

1245   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:57:13
本发明公开了一种单晶硅制备工艺中排放氩气尾气的净化回收方法,其主要包括以下:1)净化流程;2)再生流程;3)降温流程和4)置换流程。本发明还公开了对应的氩气回收装置及其工艺。该装置包含有:化学链燃烧反应器(7),换热器(5),吸附剂反应器(20),循环水降温装置(16)和(21),压缩机(2),循环风机(27),空气冷干机(14),氧分析仪(29),保温套(8)和(8’),辅助加热装置(6)以及相应的控制阀门。目前的装置具有工艺流程简单,能耗低,氩气回收率高的优点。
声明:
“单晶硅制备中排放氩气的回收方法与装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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