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研磨头清洗装置

1137   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:08:39
本发明提供了一种研磨头清洗装置,包括:若干个清洗支路,每个所述清洗支路包括:喷雾单元、管道、自动阀门、传感器、控制单元和清洗液供应单元,所述传感器检测到所述研磨头的侧面是否存有附着物,向所述控制单元输出反馈信号,基于所述反馈信号,所述控制单元控制所述自动阀门开启或闭合,以控制所述喷雾单元启动与停止。所述喷雾单元启动时,所述喷雾单元向所述研磨头的侧面喷射清洗液。清洗液对所述附着物产生物理化学作用,使得所述附着物从所述研磨头的侧面掉落。避免在研磨头在上下料期间或其自身运动时,所述附着物掉落在研磨垫上,继而在所述晶圆上造成划痕或附着颗粒,最终影响晶圆制品的成品率。
声明:
“研磨头清洗装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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