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功率器件的生产工艺方法

1087   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:11:52
本发明提供一种功率器件的生产工艺方法,包括:检测来料;合格来料通过表面组装和研磨技术制作基层衬底结构;在基层衬底结构上依次铺并形成氧化层;在所述氧化层上生成氮化硅层,以形成目标衬底结构,并铺设光刻层;通过物理CMP和电浆干式蚀刻技术在光刻层依次形成下沉区、场氧化层和栅氧化层;在所述场氧化层上依次形成所述防静电二极管单元的N型基区和所述功率单元的硅栅结构;在形成N型基区后,依次形成体区、漂移区等;在完成上述区域的划分后,通过化学槽清洗的方法除去光刻层;最后通过溅镀的方式完善功率器件的制做。本发明降低了功率器件的制造加工成本;同时通过该方法制造功率器件,废品回收率达到70%以上,高于同行业水平。
声明:
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