合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 多晶硅片的钝化处理方法

多晶硅片的钝化处理方法

911   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:17:31
本发明公开了一种多晶硅片的钝化处理方法,具有如下步骤:a、将多晶硅片背面抛光;b、将多晶硅片背面用化学试剂清洗后,淋干水滴;c、低温处理,在80~90℃的温度下将硅片烘干,烘干时间为一小时;d、使用PECVD法对多晶硅片进行等离子氧化薄膜的沉积,沉积后在硅片表面形成小于2nm厚度的SiO2薄膜层;e、热处理,将沉积后的多晶硅片在400℃温度下进行退火处理;f、测试,对多晶硅片进行稳定状态下的少子寿命测试。本发明通过硅片的前期湿-热处理,在硅片表面形成了一个极薄的SiO2薄膜,且这层薄膜中富含水汽所带来的羟基,为与氧化铝中的氧原子的结合提供了很好的化学结构基础,有效地提升了硅片钝化效果及稳定性。
声明:
“多晶硅片的钝化处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 小知识 | 金属钼了解一下 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 2025年锂电池行业十大变革性技术 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 金属百科 | 锑的历史与发展 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记