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用质子交换制造铌酸锂光波导的方法及其装置

885   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:28:35
用质子交换制造铌酸光波导的方法及其装置, 主要包括清洗衬底片、在衬底片上制备掩膜、光刻出波导图形、 质子交换、退火、端面抛光、波导调整与检查步骤。本发明由 于将质子交换的质子源采用用苯甲酸锂稀释的苯甲酸混合溶 液,根据质子交换的化学反应原理,在苯甲酸中掺入苯甲酸锂 增加了溶液中锂离子浓度,改变了反应中H+到Li+的平衡,使H+浓度降低,由此降低了反应速度和锂离子交换量,使波导与衬底的折射率差减小。结合退火得到更适于与光纤耦合的折射率分布,同时使苯甲酸的腐蚀作用降低,减少了波导缺陷,降低了波导自身的损耗。
声明:
“用质子交换制造铌酸锂光波导的方法及其装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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