合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 空白遮罩及使用所述空白遮罩的光掩膜

空白遮罩及使用所述空白遮罩的光掩膜

1226   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:28:36
本发明提供一种用于硬遮罩的空白遮罩及使用所述空白遮罩的光掩膜。在所述空白遮罩中,通过适当地控制硬膜中的氮含量及碳含量来形成硬膜,以减小在执行蚀刻工艺时所造成的临界尺寸的偏差。通过增大遮光膜中的金属含量及减小抗反射膜中的金属含量来形成具有薄的厚度的金属膜。因此,可提高金属膜的分辨率、图案保真度及耐化学性。此外,金属膜及硬膜被形成为使其间的反射率反差高,从而能够容易地检验所述硬膜。因此,所述用于硬遮罩的空白遮罩可应用于动态随机访问存储器(DRAM)、快闪存储器、或微处理单元(MPU),以具有32nm或以下的半节距且尤其是具有22nm或以下的临界尺寸。
声明:
“空白遮罩及使用所述空白遮罩的光掩膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 原来他们都是中南大学杰出校友! 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些?
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记