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薄膜微带电路的制备工艺

1073   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:51
本发明提供一种薄膜微带电路的制备工艺,它包括有以下步骤:1)、清洗:基板表面的污渍清洗干净;2)、溅射:通过物理气相沉积的方法将金属薄膜制备在基板表面;3)、光刻:通过匀胶、曝光、显影将薄膜电路图形从掩模版上以光刻胶的形式转移到基板表面;4)、蚀刻:采用化学腐蚀的方法去除不需要的金属薄膜,最终在基板上留下微带电路;5)、表面处理:利用电镀的方法在薄膜电路表面制备金层;6)、划片:用切割机将制备在基板上的薄膜电路切割成单个薄膜电路基片;测试即成。本方案制备的薄膜电路参数范围宽、精度高、温度频率特性好,批次一致性好、可靠性高。
声明:
“薄膜微带电路的制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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