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耐摩擦的铂/石墨烯复合结构及其制备方法

1310   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:51
本发明公开了一种耐摩擦的铂/石墨烯复合结构。该复合结构位于SiO2/Si衬底上,由石墨烯和金属铂的微结构阵列组成,其中石墨烯与衬底的SiO2层接触,金属铂的微结构阵列生长在石墨烯的表面。本发明将Pt金属微结构阵列与石墨烯构成一种复合耐摩擦结构,以提高石墨烯材料的摩擦特性。制备步骤:利用化学气体沉积方法在Cu箔上生长石墨烯材料,石墨烯材料的层数控制在4到10层之间,再采用FeCl3溶液腐蚀Cu箔并将石墨烯转移到SiO/Si衬底之上,然后利用掩模和磁控溅射的方法,在石墨烯的表面生长Pt金属微结构阵列。经摩擦-磨损测试表明,本发明的复合结构具有非常优良的摩擦性能,其制备方法简单,适合应用于一些需要耐摩擦的MEMS器件表面。
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