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基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法

1166   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:56
本发明公开一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法,包括光纤、石英套管、高纯石英压力敏感元;石英套管内设有通孔,所述通孔内插入所述光纤;石英压力敏感元与石英套管连接。本发明能够适用于除氢氟酸和150℃以上的热磷酸以外的耐腐蚀等恶劣环境,因生物组织对石英材料不排斥所以也适用于颅内压的监测等应用;并通过激光热熔的方式免胶固定,能够提高稳定、可靠性和适用范围;石英压力敏感元的厚度由光学冷加工工艺控制,无需化学腐蚀等工艺,提高光纤传感头的稳定性、可靠性和寿命;本发明制作过程简单、快捷,传感器安全可靠、稳定性好,结合传统的光学冷加工工艺能够实现极小厚度的石英压力敏感元热熔。
声明:
“基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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