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蓝宝石抛光工艺

929   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:58
本发明公开了一种蓝宝石抛光工艺,包括如下步骤:原料预处理、精磨、抛光、清洗和测试等,该蓝宝石抛光工艺,该蓝宝石抛光工艺,通过原料预处理和精磨工艺将原料表面经行研磨,降低抛光时的难度,节约抛光时间,通过使用由三氧化二制成抛光液硬度高,且在与蓝宝石摩擦过程中产生化学反应从而使CMP有效进行,稳定性高,成本低,通过FA/O复合活性剂增加抛光液的稳定性,提高抛光表面的平整性和工作效率,通过实验,在压力为4psi、转速为60rpm/min和pH值为10时,抛去的去除速率为6um/hr,当压力值为5psi、转速为60rpm/min和pH值为10时,抛去的去除速率为8um/hr,本发明的工艺流程简单,且同时节约成本,值得以后推广。
声明:
“蓝宝石抛光工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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