合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 半导体器件的形成方法

半导体器件的形成方法

1038   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:57:00
一种半导体器件的形成方法,包括:提供半导体衬底,衬底包括PMOS晶体管区域;在衬底的PMOS晶体管区域上形成栅极、硬掩模;在栅极、以及硬掩模的表面形成第一侧墙材料层,栅极表面的第一侧墙材料层厚度大于硬掩模表面的第一侧墙材料层;去除硬掩模表面的第一侧墙材料层、以及栅极侧壁上部分厚度的第一侧墙材料层,残留的第一侧墙材料层构成第一侧墙;进行湿式化学清洗;在硬掩模和第一侧墙的周围形成第二侧墙;在PMOS晶体管区域中对应源漏极的位置形成凹槽、以及位于凹槽内的锗硅层;至少去除部分厚度的硬掩模。本发明的技术方案解决了利用现有方法形成的半导体器件的电性能合格测试的结果不满足要求的问题。
声明:
“半导体器件的形成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
2025年锂电池行业十大变革性技术 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 小知识 | 金属钼了解一下 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 有色金属:六种战争金属性能详解 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.126821s