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晶圆缺陷检测方法及装置

1151   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:10
本发明提供一种晶圆缺陷检测方法及装置,所述方法包括:采用X射线衍射形貌术对晶圆样品进行第一次检测,得到第一检测结果;对晶圆样品进行亲水性处理,使晶圆样品的表面具备亲水性;对晶圆样品进行金属沾污处理,在晶圆样品表面形成缀饰;对晶圆样品进行热处理;采用X射线衍射形貌术对晶圆样品进行第二次检测,得到第二检测结果;将所述第一检测结果和所述第二检测结果进行比对,确定所述晶圆样品的缺陷类型和缺陷分布位置。根据本发明实施例的检测方法,可高效快速地检测出晶圆可能存在的所有缺陷类型及分布区域,在确保检测准确性的前提下,极大节省了检测成本;并且采用无损检测的方法,利于对晶圆进行重复检测,保证检测数据的可重复性。
声明:
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