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电光晶体通光面法线与Z轴偏离角的测量装置及其测量方法

938   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:23
一种电光晶体通光面法线与Z轴偏离角的测量装置及其测量方法,该测量装置包括激光器、第一透镜、空间滤波器、第二透镜、起偏器、第三透镜、分光镜、数字光电内调焦自准直仪、第四透镜、检偏器、成像透镜、探测器和计算机处理系统。本发明利用锥光干涉原理,实现了待测电光晶体非接触式无损检测,保障了测量过程中不引入待测电光晶体表面划痕,并且适用于大口径电光晶体检测,另外本发明采用数字光电内调焦自准直仪标定检测光束光轴方向,保障了检测光束垂直入射待测电光晶体,具有测量精度高,测量重复性好的优点,具有很大应用前景。
声明:
“电光晶体通光面法线与Z轴偏离角的测量装置及其测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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