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用于测量薄膜材料相变温度的装置及方法

1295   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:33
本发明涉及一种用于测量薄膜材料相变温度的装置,包括衬底、电极、红外温度探测器、激光光源、多普勒探测器、飞秒脉冲激光光源;衬底用于铺设待测薄膜,电极置于待测薄膜上,红外温度探测器监测待测薄膜的温度;激光光源向待测薄膜表面斜射探测光,飞秒脉冲激光光源向同一入射点垂直射入飞秒激光脉冲,从而在薄膜内产生声波,使探测光在待测薄膜表面的反射光引起多普勒频移,多普勒探测器用于探测该反射光的多普勒频移信号。本发明测量装置及方法利用飞秒激光诱导薄膜产生声波,利用薄膜晶态和非晶态之间折射率的差异,反应声波在一定厚度薄膜内传播一个来回的时间差异,通过多普勒探测器探测反射光的多普勒频移信号,具有快速、无损测量的优点。
声明:
“用于测量薄膜材料相变温度的装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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