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光电器件界面缺陷表征方法及装置

864   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:43
本发明涉及一种光电器件界面缺陷表征方法及装置,解决了现有技术中光电器件界面处缺陷不能无损检测的技术问题。本发明的方法包括:建立待测光电器件的等效电路模型;在设定的直流偏压下,根据设定的温度范围及温度步长,在每个温度下,变化待测光电器件两端交流电压的角频率,利用所述等效电路模型,获取所述光电器件总电容随所述角频率变化的测试曲线,得到不同温度下的特征频率;根据所述不同温度下的特征频率,线性拟合得到直线斜率;根据所述直线斜率,获取所述光电器件的激活能和俘获界面,根据所述激活能和俘获界面表征光电器件的界面缺陷,实现对光电器件的无损检测。
声明:
“光电器件界面缺陷表征方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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