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激光晶体等离子体辅助刻蚀加工PaE方法

929   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:50
本发明涉及一种激光晶体等离子体辅助刻蚀加工PaE方法,用于加工倍半氧化物激光晶体表面,包括下列步骤:对倍半氧化物激光晶体毛坯材料进行形貌测量和损伤层厚度测量,以确定材料表面需要去除的深度;根据去除深度,对倍半氧化物激光晶体毛坯材料进行等离子体表面处理,在倍半氧化物中引入H离子,把倍半氧化物转变为氢氧化物;利用无机酸对晶体表面刻蚀加工;对被加工表面进行形貌测试和损伤厚度测试,检测是否达到预期量,并决定是否继续进行表面处理及刻蚀加工,直至被加工表面达到预期加工目标。本发明可以高效、无损伤、高精度地加工的激光晶体元件超光滑表面。
声明:
“激光晶体等离子体辅助刻蚀加工PaE方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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