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器件失效定位分析方法

1029   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:30
本申请涉及失效分析技术领域,具体公开一种器件失效分析定位方法,包括:对扫描探头进行校准,获取校准数据;控制扫描探头对待测器件进行扫描,并获得第一参数信息,第一参数信息用于表征待测器件扫描高度平面的电磁场信息;根据第一参数信息和校准数据,确定待测器件目标高度平面的电磁场信息;根据待测器件目标高度平面的电磁场信息,确定待测器件表面的电学分布;根据待测器件表面的电学分布,确定待测器件的失效位置。基于电磁注入和探测的原理,结合待测器件表面的电磁场信息实现对待测器件的失效位置的分析,相对于传统的失效分析方法而言,成本较低,且无需对待测器件进行破坏,整体失效定位方法可靠性较高。
声明:
“器件失效定位分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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失效分析
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