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晶圆的失效检测方法、装置、设备及存储介质

1047   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:32
本申请公开了一种晶圆的失效检测方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:获取目标晶圆的预定类型的WAT数据,预定类型的WAT数据是通过第一机器学习模型从至少两种候选类型的WAT数据中确定类型的数据;调用第二机器学习模型对预定类型的WAT数据进行处理,得到目标晶圆的失效率,第二机器学习模型是根据至少一组样本WAT数据组训练得到的;输出目标晶圆的失效率。本申请通过获取目标晶圆的预定类型的WAT数据,调用第二机器学习模型对预定类型的WAT数据进行处理,得到目标晶圆的失效率,输出目标晶圆的失效率,由于目标晶圆的失效率是由第二机器学习模型预测得到的,因此能够提高获取晶圆的失效率的准确度,且提高了获取的效率。
声明:
“晶圆的失效检测方法、装置、设备及存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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