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基于图像分析的TSV结构的三维应力表征方法

1226   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:58
本发明公开了一种基于图像分析的TSV结构的三维应力表征方法,包括如下步骤:步骤一、利用高分率X射线显微镜,从不同角度对TSV结构进行成像,然后通过图像重构技术获得TSV结构的三维结构点云数据;步骤二、计算TSV结构在外载荷作用前后,上述点云数据中每一个点的空间三维变形量;步骤三、根据步骤二得到的三维变形量,采用拉格朗日应变张量来计算TSV结构中每个点的三维应力状态。本发明基于图像信号分析来表征TSV结构三维应力,能弥补传统应力表征的成本昂贵、效率较低的不足,对含TSV结构的器件在外载荷作用下的失效分析和可靠性设计意义重大。
声明:
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