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防止静电吸合的微机械检测结构

918   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:03
本发明提供了一种防止静电吸合的微机械检测结构，属于微机电系统技术领域，包括固定锚点及连接于固定锚点的固定梳齿、活动质量块以及连接于活动质量块的活动梳齿；活动梳齿与固定梳齿相互交叉，当敏感信号输入时，活动质量块偏移平衡位置，活动梳齿与固定梳齿之间形成电容差。其中，固定梳齿或/和活动梳齿上设有梳齿防静电吸合结构，以限制活动梳齿的偏移量，避免梳齿间静电吸合失效。本发明提供的防止静电吸合的微机械检测结构，能够有效的防止由于过载信号导致的静电力吸合失效，具有结构形式简单，加工方便等优点，可以显著提高MEMS惯性传感器的可靠性。
声明：
“防止静电吸合的微机械检测结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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