合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 失效分析技术

> 互连线接触高阻位置的测试方法

互连线接触高阻位置的测试方法

909   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:11
本发明提供了一种互连线接触高阻位置的测试方法,应用于半导体技术领域。所述方法包括:在一失效样品对应的版图上获取待分析路径;在所述待分析路径上获取一条测试回路,所述测试回路的两个测试端口位于所述失效样品的接触孔层上;将所述失效样品正面朝下后进行样品处理,使所述失效样品满足纳米探针测试条件;对处理后的所述失效样品进行纳米探针测试,以确定所述失效样品的互连线接触高阻位置。本发明的互连线接触高阻位置的测试方法,能够在电性上对芯片高阻失效进行验证,并能够准确确认芯片高阻失效位置。
声明:
“互连线接触高阻位置的测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
失效分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 小知识 | 金属钼了解一下 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 原来他们都是中南大学杰出校友! 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 2025年锂电池行业十大变革性技术 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记