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单晶炉硅料复投装置的制作方法

997   编辑:中冶有色技术网   来源:辽宁博芯科半导体材料有限公司  
2023-11-06 15:45:16

一种单晶炉硅料复投装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅料复投技术领域,具体涉及一种单晶炉硅料复投装置。

背景技术:

2.单晶炉是生产单晶硅棒的主要设备,在生产单晶硅棒的过程中向单晶炉内所单次添加的次硅料装入量受限,为了保证单晶硅棒的生产质量需要将硅料向单晶炉内进行复投操作,从而满足设备生产单晶硅棒的硅料需求。现有的硅料复投装置大多数的形式较为固定,向单晶炉内进行复投硅料的颗粒大小也较为固定,不能根据不同时间的生产需求将不同颗粒的硅料投入到单晶炉内。为此,我们提出一种单晶炉硅料复投装置。

技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种单晶炉硅料复投装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉硅料复投装置,包括底座,所述底座的表面通过支撑架固定装配有底板,所述底板的顶部固定装配有储料桶,所述储料桶的内腔开设有储料腔和装配腔,所述储料腔的底部开设有贯穿至装配腔内的连接孔,所述装配腔的侧壁开设有贯穿储料桶的开口槽,所述储料腔内装配有储料架,所述装配腔内固定装配有与储料架相传动连接的传动机构,所述装配腔内固定装配有连接组件,所述装配腔内通过连接组件固定装配有贯穿开口槽的加料管。

5.优选的,所述储料架内开设有第一料仓、第二料仓和第三料仓,所述第一料仓、第二料仓和第三料仓的底部分别开设有出料孔。

6.优选的,所述传动机构包括传动轴,所述传动轴固定连接在储料架的底部,所述传动轴的底部固定连接有传动齿轮,所述装配腔的内腔固定装配有电机,所述电机的输出端固定连接有驱动齿轮,所述驱动齿轮与传动齿轮相互啮合。

7.优选的,所述连接组件包括连接顶部架,所述连接顶部架固定装配在装配腔内,所述连接顶部架内一体成型有连接管,所述连接顶部架的底部四角处一体成型有连接轴,所述连接轴内滑动连接有伸缩轴,所述伸缩轴的底端与连接底部架固定连接,所述伸缩轴与连接轴的内腔之间固定装配有弹簧,所述连接底部架内开设有导料槽,所述连接管插接至导料槽内,所述加料管固定装配在底部连接架的侧壁,所述底部连接架的侧壁固定装配有振动电机。

8.优选的,所述底座的底部四角处固定装配有移动轮,所述底座的表面焊接固定有把手架。

9.优选的,所述储料桶的顶部装配有盖板,所述盖板的表面固定装配有把手块。

10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:一种单晶炉硅料复投装置,在储料架内设置有第一料仓、第二料仓和第三料仓,第一料仓、第二料仓和第三料仓分别用于对不同尺寸大小的硅料进行储存,通过传动机构带动储料架的转动,可以使第一料仓、第二料仓或

第三料仓分别与加料管进行连通,通过加料管向单晶炉内完成硅料的复投,从而满足对单晶硅棒的不同加工时间硅料复投的生产需求,同时加料管通过连接组件进行装配,通过所设置的连接组件可以带动加料管进行振动,便于加料管进行硅料的添加,提高加料管的加料效率。

附图说明

11.图1为本实用新型的立体图。

12.图2为本实用新型的储料架的结构示意图。

13.图3为本实用新型传动机构的结构示意图。

14.图4为本实用新型连接组件的结构示意图。

15.图中:1、底座,2、移动轮,3、把手架,4、支撑架,5、底板,6、储料桶,61、储料腔,62、装配腔,63、开口槽,64、连接孔,7、加料管,8、储料架,81、第一料仓,82、第二料仓,83、第三料仓,84、出料孔,9、传动机构,91、传动轴,92、传动齿轮,93、驱动电机,94、驱动齿轮,10、轴承,11、连接组件,111、连接顶部架,112、连接管,113、导料槽,114、连接轴,115、伸缩轴,116、弹簧,117、连接底部架,118、振动电机,12、盖板,13、把手块。

具体实施方式

16.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

17.请参阅图1、图2、图3和图4,本实用新型提供一种技术方案:一种单晶炉硅料复投装置,包括底座1,底座1的底部四角固定装配有辅助底座1进行移动的移动轮2,底座1的顶部焊接固定有辅助底座1进行移动的把手架3,通过把手架3与移动轮2的相互配合,便于对底座1进行推动。

18.底座1的表面通过支撑架4固定装配有底板5,支撑架4的数量为四个,四个支撑架4分别位于底板5的四角处,四个支撑架4分别通过固定螺栓与底座1和底板5进行连接固定,通过支撑架4对底板5进行支撑,四个支撑架4可以保证对底板5的支撑稳定。

19.底板5的表面焊接固定有用于对硅料进行存料和出料的储料桶6,储料桶6的内腔开设有储料腔61和装配腔62,装配腔62的侧壁开设有用于加料管7通过的开口槽63,储料腔61的底部开设有与装配腔62相连通的连接孔64,储料腔6的内腔转动连接有横截面呈“四分之三圆形的”的储料架8,且装配腔62内装配有与储料架8相传动连接的传动机构9,通过传动机构9带动储料架8进行转动,使储料架8不同位置的料仓与连接孔64相连通,便于向加料管7内进行供料。

20.储料架8内开设有第一料仓81、第二料仓82和第三料仓83,第一料仓81、第二料仓82和第三料仓83的底部分别开设有孔径与连接孔64相匹配的出料孔84,通过传动机构9带动储料架8的转动,使第一料仓81、第二料仓82和第三料仓83底部的出料孔84与连接孔64相连通,则可以向加料管7内进行加料,当第一料仓81、第二料仓82和第三料仓83底部的连接孔64均不与连接孔64的位置相对应时,则停止向连接孔64内出料,完成对储料架8的封闭。

21.第一料仓81、第二料仓82和第三料仓83分别用于对不同颗粒大小的硅料进行储存,在生产的过程中根据生产需要依次向单晶炉内投入第一料仓81、第二料仓82和第三料

仓83内所存放的硅料

22.第一料仓81、第二料仓82和第三料仓83的底部均呈倾斜角度设置,便于所储存的物料向出料孔84处进行移动。

23.在储料桶6的顶部装配有可拆卸的盖板12,盖板12的顶部固定连接有把手块13,通过设置盖板12便于对储料腔61内的储料架8进行封闭。

24.如图3中所示,传动机构9包括传动轴91,传动轴91焊接固定在储料架8的底部贯穿至装配腔62内,传动轴91的底部焊接固定有传动齿轮92,装配腔62的内腔内固定装配有驱动电机93,驱动电机93的输出端固定装配有驱动齿轮94,驱动齿轮94与传动齿轮92相啮合,驱动电机93电连接外部电源,通过驱动电机93带动驱动齿轮94与传动齿轮92进行转动,对储料架8的位置进行调节,储料架8与储料腔61的底部之间装配有轴承10,通过设置轴承10便于储料架8进行转动角度的调节,驱动电机93电连接外部控制器,通过外部控制器对驱动电机93的转动方向以及转动的行程进行控制,每开启一次驱动电机93的转动行程为固定的,转动的行程为储料架8的转动角度呈90度后,驱动电机93关闭,通过驱动电机93向不同方向的转动,可以对第一料仓81、第二料仓82和第三料仓83与连接孔64的重合进行控制。

25.如图4中所示,加料管7通过连接组件11装配在装配腔62内,连接组件11包括呈工字型的连接顶部架111,连接顶部架111与装配腔62的内腔顶部相固定,连接顶部架111的中心处固定装配有与连接管112,连接管112的一端与连接孔64的位置相对应,连接管112的另一端插接至导料槽113内,导料槽113的孔径大于连接管112的底部外径,导料槽113开设在连接底部架117的侧壁,加料管7的端部固定连接在连接底部架117的侧壁,加料管7呈小角度的向下倾斜,加料管7与导料槽113相连通,通过连接组件11将连接孔64与加料管7进行连通,使硅料进入到加料管7内。

26.连接顶部架111的底部四角处分别一体成型有连接轴114,连接轴114的内腔插接有伸缩轴115,伸缩轴115的上、下两端分别与连接轴114的内腔之间装配有弹簧116,伸缩轴115的底部与连接底部架117固定连接,连接底部架117的侧壁固定装配有振动电机118,振动电机118电连接外部电源,振动电机118通电开启后带动连接底部架117和加料管7进行轻微的振动,通过设置弹簧116可以加强连接底部架117的振动幅度,同时伸缩轴115与连接轴114的配合又可以对连接底部架117的振动幅度进行控制,便于加料管7向单晶炉内进行加料,同时也避免了物料在加料管7内堆积。

27.工作原理:在使用的过程中通过把手架3与移动轮2的配合将加料管7插入至单晶炉侧壁的复投管内,根据单晶炉加工过程中的硅料复投需求,控制储料架8进行转动,使不同位置的料仓与连接孔64相重合连通,第一料仓81、第二料仓82和第三料仓83与连接孔64相重合后,内部所储存的物料通过连接孔64进入到连接组件11内,然后再通过加料管7向单晶炉内完成物料的添加,在添加的过程中通过振动电机118带动连接底部架117和加料管7进行轻微的振动,提高硅料向单晶炉内的添加效果。技术特征:

1.一种单晶炉硅料复投装置,包括底座(1),所述底座(1)的表面通过支撑架(4)固定装配有底板(5),所述底板(5)的顶部固定装配有储料桶(6),其特征在于:所述储料桶(6)的内腔开设有储料腔(61)和装配腔(62),所述储料腔(61)的底部开设有贯穿至装配腔(62)内的连接孔(64),所述装配腔(62)的侧壁开设有贯穿储料桶(6)的开口槽(63),所述储料腔(61)内装配有储料架(8),所述装配腔(62)内固定装配有与储料架(8)相传动连接的传动机构(9),所述装配腔(62)内固定装配有连接组件(11),所述装配腔(62)内通过连接组件(11)固定装配有贯穿开口槽(63)的加料管(7)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料复投装置,其特征在于:所述储料架(8)内开设有第一料仓(81)、第二料仓(82)和第三料仓(83),所述第一料仓(81)、第二料仓(82)和第三料仓(83)的底部分别开设有出料孔(84)。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料复投装置,其特征在于:所述传动机构(9)包括传动轴(91),所述传动轴(91)固定连接在储料架(8)的底部,所述传动轴(91)的底部固定连接有传动齿轮(92),所述装配腔(62)的内腔固定装配有电机(93),所述电机(93)的输出端固定连接有驱动齿轮(94),所述驱动齿轮(94)与传动齿轮(92)相互啮合。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料复投装置,其特征在于:所述连接组件(11)包括连接顶部架(111),所述连接顶部架(111)固定装配在装配腔(62)内,所述连接顶部架(111)内一体成型有连接管(112),所述连接顶部架(111)的底部四角处一体成型有连接轴(114),所述连接轴(114)内滑动连接有伸缩轴(115),所述伸缩轴(115)的底端与连接底部架(117)固定连接,所述伸缩轴(115)与连接轴(114)的内腔之间固定装配有弹簧(116),所述连接底部架(117)内开设有导料槽(113),所述连接管(112)插接至导料槽(113)内,所述加料管(7)固定装配在底部连接架(117)的侧壁,所述底部连接架(117)的侧壁固定装配有振动电机(118)。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料复投装置,其特征在于:所述底座(1)的底部四角处固定装配有移动轮(2),所述底座(1)的表面固定装配有把手架(3)。6.根据权利要求1所述的一种单晶炉硅料复投装置,其特征在于:所述储料桶(6)的顶部装配有盖板(12),所述盖板(12)的表面固定装配有把手块(13)。

技术总结

本实用新型公开了一种单晶炉硅料复投装置,包括底座,底座的表面通过支撑架固定装配有底板,底板的顶部固定装配有储料桶,储料桶的内腔开设有储料腔和装配腔,储料腔的底部开设有贯穿至装配腔内的连接孔,装配腔的侧壁开设有贯穿储料桶的开口槽,储料腔内装配有储料架,装配腔内固定装配有与储料架相传动连接的传动机构,装配腔内固定装配有连接组件,装配腔内通过连接组件固定装配有贯穿开口槽的加料。对不同尺寸大小的硅料进行储存,通过传动机构带动储料架的转动,可以使第一料仓、第二料仓或第三料仓分别与加料管进行连通,通过加料管向单晶炉内完成硅料的复投,从而满足对单晶硅棒的不同加工时间硅料复投的生产需求。晶硅棒的不同加工时间硅料复投的生产需求。晶硅棒的不同加工时间硅料复投的生产需求。

技术研发人员:张国峰 郭党 赵思佳

受保护的技术使用者:辽宁博芯科半导体材料有限公司

技术研发日:2023.04.18

技术公布日:2023/9/1
声明:
“单晶炉硅料复投装置的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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