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无源真空维持合金的制备方法及其应用

806   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:33:05
本发明公开了一种无源真空维持合金的制备方法及其应用,材料合金配方如下:合金配方的主体元素为52wt%‑63wt%,Y为5wt%‑30wt%,Mo为18‑22wt%,W为0.1wt%‑5wt%,Re为0.1wt%‑4wt%,所述Hf为0‑1.8wt%,所述Nb为0‑1.8wt%,所述Ni为0.1wt%‑1.8wt%。将纯度为99.5~99.95%的原材料,按上述合金配方进行配料,其原材料分别为Ti、Zr、Y、Mo、W、Re、Hf、Nb、Ni,对配料进行熔炼制得无源真空维持合金的合金靶坯;或者用粉末冶金烧结法制得合金靶坯,将合金靶坯进行机械加工,制得所述2英寸~12英寸的合金靶材。本发明用制备的合金,其比表面高和孔隙度大,源于合金中加入了具有d电子轨道的W、使得合金的吸气平衡压降低,有利于合金的吸气性能,能够有效的维持无源。
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