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碱性蚀刻液及其循环使用方法

1309   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:34:38
本发明公开了一种碱性蚀刻液及其循环使用方法,所述碱性蚀刻液包括氯化、有机胺、氧化剂、添加剂以及去离子水;每升碱性蚀刻液中氯化铜占10‑150g,有机胺占10‑200g,氧化剂1‑100g,添加剂占1‑100g,其余为去离子水。本发明的碱性蚀刻液,在使用过程中溶液是碱性,对设备要求不高;使用成本低,操作安全环保,检测控制系统简单;低侧蚀,蚀刻速度快;稳定性高。该方法采用膜分离技术和沉淀还原的技术相结合,可以很好的实现蚀刻液的循环再生利用,反应后的产物是氮气和水,不带入其它杂质,过滤沉淀铜后的滤液可以回用于配制新蚀刻液。
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