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升级冶金级硅原料的质量控制方法

1025   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:45:01
本发明提供一种用于确定UMG-Si原料批中的硼和磷浓度的质量控制方法。通过来自于UMG-Si原料批的熔化UMG-Si的定向固化形成硅测试锭。测量所述硅测试锭的自上而下的电阻率。然后,映射所述硅测试锭的电阻率分布。基于所述硅测试锭的所述电阻率分布,计算所述UMG-Si硅原料批的磷和硼浓度。此外,可以在多炉腔晶体生长器中同时生长多个测试锭,其中每个测试锭对应于一个UMG-Si原料批。
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“升级冶金级硅原料的质量控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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