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热压工艺制备硼化物溅射靶材

846   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:46:02
热压工艺制备硼化物溅射靶材,制备方法流程步骤依次为:将纯度≥99.9%、粒度≤5μm的硼化物粉制成直径为1~3mm的硼化物粒子;填入石墨模具内,再装入热压炉,升温加压,保温5~10h之后,再降温制成毛坯,经过机加工后制得成品,相对密度为85%~90%,电阻率为1.0~3.5Ω·㎝;硼化物粉在高温高压下获得致密块,使其具有高相对密度,低电阻率,且均匀性好,稳定性高,具有良好的溅射性能,满足靶材使用需求。该制备方法简单易行,避免采用传统粉末冶金压制方法需要的复杂模具设计,极大地提高了成型效率,所得靶材溅射性能优良,杂质少,适用于溅射镀膜。
声明:
“热压工艺制备硼化物溅射靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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