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强磁场热压制备金属靶材的装置及方法

1026   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:46:18
一种强磁场热压制备金属靶材的装置及方法,属于粉末冶金技术领域。其制备装置,包括压头、模具、上下移动压杆、超导磁体、加热器、冷却水管道和支座;采用上述装置,制备方法包括如下步骤:(1)备料:称量金属粉;(2)装填;(3)磁场热压:磁场强度为0.5~6T;温度为200~1600℃,压力为10~80MPa,热压20~200min,空冷至室温,制得金属靶材;(4)机械加工:将金属靶材进行机械加工,制得表面光滑、平整的金属靶材。本方法将强磁场取向引入到热压工艺制备金属靶材工艺中,利用热压获得高密度;利用强磁场使金属粉的易磁化轴,朝磁场方向转动,从而获得具有良好取向。通过热压和强磁场的复合效应获得具有高密度、强织构的高质量磁控溅射靶材。
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“强磁场热压制备金属靶材的装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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