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超细球形钨粉及其制备方法

781   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:50:29
本发明公开了一种超细球形钨粉及其制备方法,属于粉末冶金技术领域。本发明以粗钨酸铵为原料,采用化学精炼法制得球形钨粉,其方法包括离子交换、溶剂萃取、蒸发结晶、雾化造粒和微波煅烧,最后制得超细球形钨粉。本发明制得的超细球形钨粉纯度为大于99.995wt%以上,粒径为0.1~3μm,振实密度为5.1~6.3g/cm3,粉体流动性好。该钨粉可用于生产溅射靶材和半导体元器件,是大规模集成电路关键原材料,市场需求巨大,应用前景广阔。同时,该制粉工艺也可用于指导生产其他金属粉体。
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“超细球形钨粉及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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