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采用真空熔铸法制备铬靶的方法

1307   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:57:01
本发明涉及一种采用真空熔铸法制备铬靶的方法,依下述步骤进行:a.Cr块的挑选:将有氧化皮、被污染的Cr块挑出;b.熔炼:将合格的Cr块装入中频真空感应炉中,升温速率为10-18℃/min,熔炼温度为1800~2000℃;c.浇注:以0.6~0.8m/s的浇注速度快速浇铸到水冷Cu模中,进行快速冷却,制得Cr靶。本发明通过感应加热方法,在高温下将材料熔化,快速浇铸,并辅以快速冷却,实现快速形核并且抑制核长大,本方法制得的Cr靶,具有成分均匀、致密性高、晶粒细小、纯度高、工艺简单、成本低等优良的综合性能。
声明:
“采用真空熔铸法制备铬靶的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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