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基于凝胶成型的碳化硅微反应器制备方法

1328   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:00:02
本发明公开了一种基于凝胶成型的碳化硅微反应器制备方法,其特征包括:(1)制备碳化硅浓悬浮液;(2)制备聚乙烯醇和水溶性酚醛树脂混合胶水;(3)将混合胶水加入到碳化硅浓悬浮液中混合得到浆料;(4)将浆料倒入模具中,冷冻物理凝胶,解冻后自然干燥,放入烘箱中烘干,冷等静压,低温烧结,酚醛树脂固化;(5)坯体表面修形;(6)坯体排胶;(7)坯体在烧结炉中埋入硅粉进行反应烧结;(8)烧结后,对装配面精加工,两块碳化硅板高温键合,制备得到碳化硅微反应器。本发明中,通过聚乙烯醇物理凝胶固化,各组分分布均匀,引入的酚醛树脂烧结后残碳率达到60~70%,与硅液反应生成碳化硅,降低碳化硅中游离硅,致密性好。
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“基于凝胶成型的碳化硅微反应器制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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