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基于凝胶成型的碳化硅微反应器制备方法

1030   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:00:02
本发明公开了一种基于凝胶成型的碳化硅微反应器制备方法，其特征包括：(1)制备碳化硅浓悬浮液；(2)制备聚乙烯醇和水溶性酚醛树脂混合胶水；(3)将混合胶水加入到碳化硅浓悬浮液中混合得到浆料；(4)将浆料倒入模具中，冷冻物理凝胶，解冻后自然干燥，放入烘箱中烘干，冷等静压，低温烧结，酚醛树脂固化；(5)坯体表面修形；(6)坯体排胶；(7)坯体在烧结炉中埋入硅粉进行反应烧结；(8)烧结后，对装配面精加工，两块碳化硅板高温键合，制备得到碳化硅微反应器。本发明中，通过聚乙烯醇物理凝胶固化，各组分分布均匀，引入的酚醛树脂烧结后残碳率达到60～70％，与硅液反应生成碳化硅，降低碳化硅中游离硅，致密性好。
声明：
“基于凝胶成型的碳化硅微反应器制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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