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单晶硅外延片生产用废气处理系统

1280   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 05:36:45
本发明公开了一种单晶硅外延片生产用废气处理系统,包括储气罐、吸附池、燃烧室、暂存罐和分离罐,储气罐的侧壁上连接有排废管和排气管,排气管上连接有曝气管,且曝气管置于吸附池内,吸附池内装有用于吸附氨气的溶液,吸附池连接有氨气提纯装置,吸附池上设有燃烧室,储气罐安装有与燃烧室连通的液体过滤装置,吸附池内还设有伸入燃烧室的氢气传送管,燃烧室一侧依次连接有暂存罐和分离罐,分离罐内设有过滤机构。本发明可提高氨气回收的纯度,通过燃烧室可燃烧多余的氢气,利用氢气提高燃烧室的温度,同时利用高温燃烧三甲基镓,使三甲基镓燃烧,然后对燃烧后的气体进行处理,以防止三甲基镓直接排放造成的危害。
声明:
“单晶硅外延片生产用废气处理系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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