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基于光谱的化学机械平坦化在线终点检测方法

1104   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:35:35
本发明公开了一种基于光谱的化学机械平坦化在线终点检测方法。首先根据被抛薄膜和基底材料的折射率n、消光系数k和目标膜厚d计算出理论光谱曲线,然后选取该曲线的一段波长区域,计算该区域内所有相对反射率极大值点对应的波长值λhi和极大值点对应的波长个数a、相对反射率极小值点对应的波长值λlk和极小值点对应的波长个数b。实时采集抛光过程中的原始光谱数据,得到滤波光谱曲线,选取相同波长区域的滤波光谱曲线区域的对应参数,并计算两组数据之间的差异值。如果该值小于预先设定的阈值,则停止平坦化过程。本发明可以排除检测光强信号变化带来的干扰,不用对检测光谱做归一化处理,减少了运算时间,同时提升信号的检测精度和检测一致性。
声明:
“基于光谱的化学机械平坦化在线终点检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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