合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 化学机械研磨机台滑片检测方法

化学机械研磨机台滑片检测方法

842   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:42:49
本发明提供一种检测硅片机台滑片的方法,利用原本就具有的终点侦测装置,无需再多耗费设备成本,即可有效侦测滑片情形并防止破片情况的发生。本发明系利用设于CMP机台内部的光学侦测系统连续侦测芯片表面的反射率,光源系从内部入射至研磨垫的下表面,因此可避免因散射导致侦测效果不佳情况的发生,适用于各类型的研磨垫。本发明通过分析反射率资料曲线可立即反应硅片滑出的事实,配合硅片载具立即上抬,可有效防止硅片破片,节省成本。
声明:
“化学机械研磨机台滑片检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 钨矿——工业之基,战争金属之王 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 金属百科 | 锑的历史与发展 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法))
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记