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动态检测装置及化学机械平坦化设备

946   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:44:47
本发明公开了一种动态检测装置,包括:发射单元;反馈单元,用于接收发射单元发出的光束;发射单元和反馈单元分别设于晶圆传输手或晶圆清洗模组;发射单元和反馈单元分别位于晶圆的两侧,当晶圆传输手上夹持有晶圆时,该晶圆可阻挡光束;发射单元或反馈单元随着晶圆传输手移动,可与晶圆清洗模组的任一反馈单元或发射单元配合,用于检测两者之间的光路内是否有晶圆,以判断晶圆传输手上是否夹持有晶圆。本发明还公开了一种化学机械平坦化设备。本发明可以实时检测每个或任意一个晶圆传输手上是否夹持有晶圆;晶圆传输手的移动通道不会被阻隔,移动更加灵活;实现了动态检测,可选择性地与任意晶圆清洗模组配合进行检测。
声明:
“动态检测装置及化学机械平坦化设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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