合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 抛光液厚度测量装置、测量方法和化学机械抛光设备

抛光液厚度测量装置、测量方法和化学机械抛光设备

912   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:46:31
本发明公开了一种用于化学机械抛光设备的抛光液厚度测量装置及测量方法。化学机械抛光设备包括抛光头、转台、抛光盘和抛光垫。抛光液厚度测量装置包括距离传感器,距离传感器设置在抛光盘内用于测量距离传感器到抛光头上的晶圆的距离;距离变送器,距离变送器设置在转台内且与距离传感器相连用于将距离传感器的测量信号转换为标准电信号;处理单元,处理单元与距离变送器相连用于获取标准电信号以得到抛光头与抛光垫之间的抛光液厚度。根据本发明实施例的抛光液厚度测量装置可以在线测量并得到抛光头与抛光垫之间的抛光液厚度。本发明还公开了一种具有所述抛光液厚度测量装置的化学机械抛光设备。
声明:
“抛光液厚度测量装置、测量方法和化学机械抛光设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 金属百科 | 锑的历史与发展 有色金属:六种战争金属性能详解 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记