合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 抛光液厚度测量装置、测量方法和化学机械抛光设备

抛光液厚度测量装置、测量方法和化学机械抛光设备

906   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:46:31
本发明公开了一种用于化学机械抛光设备的抛光液厚度测量装置及测量方法。化学机械抛光设备包括抛光头、转台、抛光盘和抛光垫。抛光液厚度测量装置包括距离传感器,距离传感器设置在抛光盘内用于测量距离传感器到抛光头上的晶圆的距离;距离变送器,距离变送器设置在转台内且与距离传感器相连用于将距离传感器的测量信号转换为标准电信号;处理单元,处理单元与距离变送器相连用于获取标准电信号以得到抛光头与抛光垫之间的抛光液厚度。根据本发明实施例的抛光液厚度测量装置可以在线测量并得到抛光头与抛光垫之间的抛光液厚度。本发明还公开了一种具有所述抛光液厚度测量装置的化学机械抛光设备。
声明:
“抛光液厚度测量装置、测量方法和化学机械抛光设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 钨矿——工业之基,战争金属之王 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记